Сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком (FIB / Ga+).
Оборудован модулем для электронной литографии, а также микроманипулятором.
Сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком (FIB / Ga+).
Оборудован модулем для электронной литографии, а также микроманипулятором.