Нанотехнологическое оборудование

Установки термического напыления ВУП-5

Оптимизирована для нанесения металла на легколетучие вещества (например, органические полупроводники).

Установка KJ-OTF-1200 CVD

В установку входят: трубчатая печь KJ-T-1200; цифровая станция контроля расхода газа. Назначение:Установка полностью функциональна и активно используется для изготовления различных образцов.

Установка импульсного лазерного напыления ВТСП гетероструктур с модулем скоростной фильтрации

Назначение:Установка предназначена для напыления эпитаксиальных ВТСП пленок и гетероструктур на их основе.

Микроскоп-тринокулярный ICM-100BD

Назначение:Для прецизионного совмещения микрообъектов.

Кластерная установка плазмохимического травления и осаждения

Назначение:Установка предназначена для удаления остатков фоторезиста, активации поверхности, также позволяет осуществлять процессы сухого травления некоторых веществ, например графена и нанотрубок.

Установка плазмохимической очистки

Назначение:Для очистки и обработки поверхности наноструктур в кислородной плазме низкой плотности. Назначение:Для очистки и обработки поверхности наноструктур в кислородной плазме низкой плотности. Назначение:Для очистки и[…]

Безмасковая оптическая (УФ) литография

Полное название установки:Установка для лазерной литографии mPG101.

Устройство центрифугирования фоторезиста

Полное название установки:Устройство центрифугирования фоторезиста  Laurell Technologies WS-400A. Назначение:Нанесения тонких пленок.

Авторизация
*
*
Регистрация
*
*
*
Генерация пароля