Установки термического напыления ВУП-5

Оптимизирована для нанесения металла на легколетучие вещества (например, органические полупроводники).

Так как наносимый металл испаряется с горячего катода, то для предотвращения перегрева образцов из легколетучих материалов испаритель максимально удалён от образца, а сам образец располагается на массивном медном блоке водяного охлаждения (также имеется возможность установки между образцом и медным блоком элемента Пельтье для охлаждения образца ниже 0°C). Контроль толщины пленок в процессе напыления осуществляется с помощью кварцевого измерителя толщины Sigma AQM-160.

  • Диапазон температур образца -30 – +20ºС.
  • Напыляемые материалы: Al, In, Ag, Au.
Авторизация
*
*
Регистрация
*
*
*
Генерация пароля