Полное название установки:
Многофункциональная вакуумная напылительная установка.
Назначение:
Вакуумная установка производства фирмы “Торр” предназначена для нанесения металлических, оксидных и других покрытий и тонких пленок на различные подложки методами термического, электронно-лучевого испарения или магнетронного распыления.
- Установка обеспечивает нагрев и вращение подложек в процессе напыления.
- Установка обеспечивает непрерывный контроль процесса осаждения при помощи кварцевого толщиномера.
- Дополнительно в камере установлена ионная пушка для травления и чистки подложек перед осаждением.
- Магнетронное распыление возможно из трех источников, два из них имеют ВЧ источники питания.
- Электронный испаритель оборудован каруселью на 4 тигля.
- Термический испаритель представляет собой вольфрамовую лодочку.
- Все источники оборудованы заслонками, снижающими вероятность взаимного загрязнения источников.
Технические характеристики высоковакуумной установки магнетронного и термического осаждения тонких пленок фирмы Torr International, Inc. (США):
| Вакуумная система | ||
| 1. | Объем рабочей камеры | 130 л. |
| 2. | Предельный вакуум, не хуже |
10-8мБар |
| 3. | Тип основного насоса | ТМН |
| 4. | Скорость откачки, не менее | 700л/с |
| 5. | Тип форвакуумного насоса | безмасляный |
| 6. | Возможность осаждения с протоком газа | да |
| Источники напыления | ||
| 1. | Магнетронные источники с блоками питания мощностью не менее (3 шт.) | 1кВт |
| 2. | Электронно-лучевой испаритель с блоком питания мощностью не менее (1 шт.) | 5кВт |
| 3. | Термические испарители с блоками питания мощностью не менее (3 шт.) | 2кВт |
| Система управления параметрами осаждения | ||
| 1. | Диапазон рабочих давлений |
10-8-10-2мБар |
| 2. | Держатель подложек диаметром, не менее | 50мм |
| 3. | Нагреватель подложек до температуры, не менее | 800°С |
| 4. | Скорость вращения подложек | 20 оборотов/мин |
| 5. | Ионная чистка подложки в камере | да |
| 6. | Шлюзовая камера для загрузки подложек | да |
| 7. | Автоматизированный контроль параметров осаждения | да |