Полное название установки:
Установка для лазерной литографии mPG101.
Характеристики:
| Длина волны лазерного светодиода | 405 нм. |
| Мощность лазера | 70 Вт. |
| Минимальный размер структур | 0,9 мкм. (2,5 мкм.), в зависимости от пишущей линзы |
| Точность совмещения | не хуже 200 нм. |
| Максимальная площадь засветки | 125х125 мм2 |