Эллипсометр J.A.Woollam VASE

Назначение:
Определение оптических свойств объемных и пленочных образцов металлов, диэлектриков и полупроводников в диапазоне длин волн 193-2500 нм (комплексный показатель преломления, диэлектрическая проницаемость, толщина пленок материалов с известными оптическими константами) при температурах 4.2-500 K.

Эллипсометр позволяет проводить следующие исследования:

  • Эллипсометрия отражения для определения спектра диэлектрической проницаемости исследуемого материала
  • Эллипсометрия пропускания
  • Измерение спектров отражения и пропускания
  • Генерализованная эллипсометрия (анизотропность)
  • Матрица Мюллера (для деполяризованных анизотропных образцов)
  • Одновременное измерение эллипсометрии и рассеяния
  • Степень деполяризации

Характеристики:

Спектральный диапазон193-2500 нм.
Спектральное разрешение0.3 Å
Время измерения0.1-3 с на одну длину волны
Точность полностью автоматизированной гониометрической платформы, обеспечивающей независимое перемещение образца и приемника0.01°
Диапазон углов полностью автоматизированного гониометра15° – 90° (отражение)
0° – 90° (пропускание)
Точность встроенного четырёхквадрантного детектора, обеспечивающего точную установку угла образцадо 0.001°
Точность измерения Y45°±0.03°
Точность измерения D0°±0.02°
Воспроизводимость для образца 30 нм SiO2/SiY = ±0.015°
D = ±0.08°
Минимальные размеры исследуемых образцовдо 2 мм
Точность определения показателя преломления объемного образца0.005 @ 1 мкм
Точность определения показателя поглощения@ 1мкм
Поглощающий образец0.005
Прозрачный образец0.05
Диапазон регулировки температуры исследуемых образцов4.2 — 500 К
Точность установки температуры±0.1 К

Эллипсометр дополнительно укомплектован фокусирующей оптикой совместимой с криостатом.

Фото эллипсометра обзорное.

Дополнительная информация:

  • J.A. Woollam, VASE Spectroscopic Ellipsometry Data Acquisition and Analysis Software
  • E.D. Palik I, II, III: Handbook of Optical Constants of Solids
  • R.M.A. Azzam and N.M. Bashara: Ellipsometry and Polarized Light
  • H.G. Tompkins and E.A. Irene: Handbook of Ellipsometry
  • H. Fujiwara: Spectroscopic Ellipsometry
  • Mark Fox: Optical Properties of Solids
  • H. Fujiwara and R.W. Collins: Spectroscopic Ellipsometry for Photovoltaics

Статьи:

  • E.S. Zhukova, B.P. Gorshunov, G.A. Komandin, L.N. Alyabyeva, A.V. Muratov, Yu.A. Aleshchenko, M.A. Anisimov, N.Yu. Shitsevalova, S.E. Polovets, V.B. Filipov, V.V. Voronov, N.E. Sluchanko, Collective infrared excitation in rareearth GdxLa1-xBhexaborides, Phys. Rev. B 100, 104302 (2019).
  • N.N. Kovaleva et al., Efficient green emission from edge states in graphene perforated by nitrogen plasma treatment, 2D Materials, Volume 6, Issue 4, 045021 OCT 2019

Ответственные лица:
Муратов Андрей Викторович +7(499) 132-67-07; +7(499) 132-69-64; muratovav@lebedev.ru
Алещенко Юрий Анатольевич +7(499) 132-62-32; aleshchenkoya@lebedev.ru