Назначение:
Определение оптических свойств объемных и пленочных образцов металлов, диэлектриков и полупроводников в диапазоне длин волн 193-2500 нм (комплексный показатель преломления, диэлектрическая проницаемость, толщина пленок материалов с известными оптическими константами) при температурах 4.2-500 K.
Эллипсометр позволяет проводить следующие исследования:
- Эллипсометрия отражения для определения спектра диэлектрической проницаемости исследуемого материала
- Эллипсометрия пропускания
- Измерение спектров отражения и пропускания
- Генерализованная эллипсометрия (анизотропность)
- Матрица Мюллера (для деполяризованных анизотропных образцов)
- Одновременное измерение эллипсометрии и рассеяния
- Степень деполяризации
Характеристики:
| Спектральный диапазон | 193-2500 нм. |
| Спектральное разрешение | 0.3 Å |
| Время измерения | 0.1-3 с на одну длину волны |
| Точность полностью автоматизированной гониометрической платформы, обеспечивающей независимое перемещение образца и приемника | 0.01° |
| Диапазон углов полностью автоматизированного гониометра | 15° – 90° (отражение) 0° – 90° (пропускание) |
| Точность встроенного четырёхквадрантного детектора, обеспечивающего точную установку угла образца | до 0.001° |
| Точность измерения Y | 45°±0.03° |
| Точность измерения D | 0°±0.02° |
| Воспроизводимость для образца 30 нм SiO2/Si | Y = ±0.015° D = ±0.08° |
| Минимальные размеры исследуемых образцов | до 2 мм |
| Точность определения показателя преломления объемного образца | 0.005 @ 1 мкм |
| Точность определения показателя поглощения | @ 1мкм |
| Поглощающий образец | 0.005 |
| Прозрачный образец | 0.05 |
| Диапазон регулировки температуры исследуемых образцов | 4.2 – 500 К |
| Точность установки температуры | ±0.1 К |
Эллипсометр дополнительно укомплектован фокусирующей оптикой совместимой с криостатом.
Фото эллипсометра обзорное.
Дополнительная информация:
- J.A. Woollam, VASE Spectroscopic Ellipsometry Data Acquisition and Analysis Software
- E.D. Palik I, II, III: Handbook of Optical Constants of Solids
- R.M.A. Azzam and N.M. Bashara: Ellipsometry and Polarized Light
- H.G. Tompkins and E.A. Irene: Handbook of Ellipsometry
- H. Fujiwara: Spectroscopic Ellipsometry
- Mark Fox: Optical Properties of Solids
- H. Fujiwara and R.W. Collins: Spectroscopic Ellipsometry for Photovoltaics
Статьи:
- E.S. Zhukova, B.P. Gorshunov, G.A. Komandin, L.N. Alyabyeva, A.V. Muratov, Yu.A. Aleshchenko, M.A. Anisimov, N.Yu. Shitsevalova, S.E. Polovets, V.B. Filipov, V.V. Voronov, N.E. Sluchanko, Collective infrared excitation in rare–earth GdxLa1-xB6 hexaborides, Phys. Rev. B 100, 104302 (2019).
- N.N. Kovaleva et al., Efficient green emission from edge states in graphene perforated by nitrogen plasma treatment, 2D Materials, Volume 6, Issue 4, 045021 OCT 2019
Ответственные лица:
Муратов Андрей Викторович +7(499) 132-67-07; +7(499) 132-69-64; muratovav@lebedev.ru
Алещенко Юрий Анатольевич +7(499) 132-62-32; aleshchenkoya@lebedev.ru