Описание:
Установка для осаждения материалов в вакууме. Установка полностью функциональна и активно используется для нанесения электрических контактов на исследуемые образцы и изготовления теневых масок.
Характеристики:
- Вакуумная установка (марка) предназначена для нанесения хрома и золота, в том числе последовательно без разрыва вакуума;
- Имеет вакуум (турбонасос) порядка 10-5 мбар;
- Ток испарителя 120 А (расчитана на работу с хромированными стержнями и испарение из лодочки);
- расстояние от источника до образца регулируемое — 5-20 см.
Расположение:
Корпус №10, комната№134.
На установке работают:
м.н.с. Шуплецов А.В., инж. Мартанов С.Г.