Устройство центрифугирования фоторезиста

Полное название установки:
Устройство центрифугирования фоторезиста  Laurell Technologies WS-400A.

Назначение:
Нанесения тонких пленок.

Параметры:
скорость вращения до 10000 об/мин,
размеры подложек 5-200 мм.