Helios NanoLab 660 FEI
Растровый электронно-ионный микроскоп Helios NanoLab 660 предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком.
CRYOGENIC CFMS 16
Установка CFMS-16 предназначена для измерения транспортных, магнитных и тепловых свойств материалов и наноструктур в диапазоне магнитных полей до 16 Тесла и температур до 1.5 К.
BlueFors LD250
Установка предназначена для измерения параметров элементов наноэлектроники, ячеек квантовой логики, наномеханики, нанофотоники и квантовой метрологии при сверхнизких температурах. Установка включает в себя измерительный комплекс СВЧ аппаратуры фирмы Agilent и безгелиевый криостат растворения с импульсной трубой модель LD250 фирмы BlueFors для получения сверхнизких температур.
ИК фурье-спектрометр IFS 125HR
| Spectral range | 11000 – 8 cm-1 | 0.9 – 1250 mm |
| Resolution | Better than 0.0063 cm-1 |
| Resolving power | Better than 106 |
| Wavenumber accuracy | Better than 5∙10-7 x wavenumber (absolute) | 1∙10-7 (relative) |
| Photometric accuracy | 0.1% T |
| Aperture | f/6.5 |
| Scanner speeds | 0.16-2.5 cm/s |
Спектральный эллипсометр J.A. Woollam VASE
Determination of the optical properties of bulk and film samples of metals, dielectrics and semiconductors in the wavelength range 193-2500 nm (complex refractive index, dielectric constant, film thickness of materials with known optical constants) at temperatures 4.2-500K.
| Spectral range | 193 – 2500 nm |
| Spectral resolution | 0.3 Å |
| Data acquisition rate | 1 – 3 s per wavelength |
| Accuracy of the fully-automated goniometric platform that provides the independent movement of the sample and detector | 0.01° |
| Angle range of the fully-automated goniometer | 15° – 90° (reflection) | 0° – 90° (transmission) |
| Accuracy of the build-in four quadrant detector that provides an accurate setting of the sample angle | up to 0.001° |
| Measurement accuracy Y | 45° ± 0.03° |
| Measurement accuracy D | 0° ± 0.02° |
| Reproducibility for the sample 30 nm SiO2/Si | Y = ± 0.015° | D= ± 0.08° |
| Minimum dimensions of the samples studied | down to 2 mm |
| Accuracy of the refractive index determination of the bulk sample | 0.005 @ 1 mm |
| Accuracy of determination of the absorption coefficient | @ 1 mm |
| Absorbing sample | 0.005 |
| Transparent sample | 0.05 |
| Temperature adjustment range of the sample | 4.2 – 500K |
| Accuracy of the temperature setting | ± 0.1K |
Tensor 27
Measurement of transmission and reflection spectra in the mid-IR range (7500-370 cm-1, 1.3-27 µm)
| Spectral range | 7500 – 370 cm-1 |
| Spectral resolution | 0.5 cm-1 (with apodization) |
| Wavenumber accuracy | 0.01 @ 2000 cm-1 |
| Photometric accuracy | 0.1% T |