Назначение:
Для очистки и обработки поверхности наноструктур в кислородной плазме низкой плотности.
На фотографии установка плазмохимической очистки стоит на воздухораспределительном шкафу. Рядом с ними стоит блок генерации сверхчистого кислорода (99,999%) Кулон-10К.