Установки для напыления тонких пленок и гетероструктур
- Термическое напыление
- Магнетронное напыление
- Установка импульсного лазерного напыления ВТСП гетероструктур с модулем скоростной фильтрации
- Установка лазерного напыления
- Установки электронно-лучевого напыления MEB-400 и MEB-550
- Установка KJ-OTF-1200 CVD
- Установки термического напыления пленок ВУП-2 (Не актуально)
- Установки термического напыления ВУП-5 (Не актуально)
Оптическая литография
- Устройство центрифугирования фоторезиста Laurell Technologies WS-400A
- Безмасковая оптическая (УФ) литография
- Установка плазмохимической очистки
- Кластерная установка плазмохимического травления и осаждения
- Оптическая установка совмещения и экспонирования (Не актуально)
Вспомогательное оборудование