Установки электронно-лучевого напыления

Полное наименование установок: MEB-400 и MEB-550.

Назначение:
Установки предназначены для напыления тонких металлических пленок, в том числе из разных металлов без разрыва вакуума, методом электронно-лучевого напыления. Дополнительно установка MEB-500 обладает возможностью напыления под разными углами, in-situ окисления в камере, и чистки(травления) ионами.

Характеристики:
Контроль толщины испарения, автоматическое управление, регулировка толщины подложки.

MEB-400MEB-550
Предельный вакуум (мм.рт.ст)10-710-8
Количество(объем) ячеек в испарителе6 (7ccm)6(15 ccm)+2(7ccm)
Температура подложки (Cо)до 150до 700
МеталлыAl, Nb, Ti, Co, PtAl, Nb, Ti
Дополнительные процессыоксидирование, травление Ar, напыление под произвольным углом.

Основные направления исследований, проводимых с использованием установки:
Установки используются преимущественно для создания устройств сверхпроводящей наноэлектроники, создания контактов и электродов к микроскопическим образцам, меток, туннельных переходов из Al2O3. Как правило, напыление осуществляется через теневые трафаретные маски или маски из фото-/электронного резиста.

Дополнительная информация:
Сверхпроводящая наноэлектроника подразумевает создание устройств субмикронных размеров,  на одном чипе. Для создания таких устройств одним из важнейших элементов является джозефсоновский переход. Опробованным и наилучшим образом контролируемым способом изготовления такого переходя является подкисление алюминия с дальнейшим напылением следующего слоя металла без разрыва вакуума. Чтобы совместить такой переход с планарной технологией, необходимо вращение образца в вакууме, а также возможность ионной обработки поверхности. Все эти возможности совмещает в себе установка MEB550 от мирового лидера — французской компании Plassys. Работа с высококачественными сверхпроводящими металлами: Nb, Al и Ti закрывает возможности напыления многих других материалов в той же установке, например легкоплавких или магнитных. Поэтому у нас есть несколько напылительных установок под разные металлы.

Ответственное лицо: Кунцевич Александр Юрьевич +7(499)1326822; alexkun@lebedev.ru