Безмасковая оптическая (УФ) литография

Полное название установки:
Установка для лазерной литографии mPG101.

Характеристики:

Длина волны лазерного светодиода375 нм.
Мощность светодиода70 Вт.
Минимальный размер структур0,9 мкм. (2,5 мкм.), в зависимости от пишущей линзы
Точность совмещенияне хуже 200 нм.
Максимальная площадь засветки125х125 мм2